Park NX10原子力顯微鏡

創(chuàng)新研究的理想選擇

Park NX10原子力顯微鏡為您帶來高精納米級(jí)分辨率的數(shù)據(jù)，值得您信賴、使用和擁有。無論是從樣品設(shè)定還是到全掃描成像、測量與分析，Park NX10都可以在保證您專注于創(chuàng)新研究工作的同時(shí)提供高精度的數(shù)據(jù)。

高精度測量

·低噪聲Z探測器可精確測量原子力顯微鏡表面形貌

·通過消除掃描器串?dāng)_進(jìn)行準(zhǔn)確的XY掃描

·True Non-ContactTM模式可保證最佳探針壽命，高分辨率掃描以及保護(hù)樣品

·個(gè)性化設(shè)計(jì)的硬件和軟件功能

Park NX10原子力顯微鏡的低噪聲Z探測器

Z軸探測器是全新NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)之一。它是Park的創(chuàng)新型應(yīng)變傳感器。憑借著0.2埃的低噪聲一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲較低的Z軸探測器。低噪聲讓Z軸探測器可作為默認(rèn)的形貌信號(hào)，全新的NX系列原子力顯微鏡與前幾代的原子力顯微鏡的差異可輕易被觀察到。如果Z軸探測器的噪聲過高，用戶無法觀察到藍(lán)寶石晶片的原子臺(tái)階。Park NX系列原子力顯微鏡的Z軸探測器所發(fā)出的高度信號(hào)，其噪聲水平與Z軸電壓形貌相同。

簡單的探針和樣品更換

專有的設(shè)計(jì)能讓您輕易地用手從側(cè)面更換新的探針和樣品。借助安裝懸臂式探針夾頭中預(yù)先對齊的懸臂，無需再進(jìn)行繁雜的激光校準(zhǔn)工作。

閃電般快速的自動(dòng)近針

自動(dòng)的探針樣品進(jìn)針功能能讓用戶無需進(jìn)行干預(yù)操作。通過監(jiān)測懸臂接近表面的反應(yīng)，Park NX10能夠在懸臂裝載后十秒內(nèi)開始并自動(dòng)快速完成探針樣品進(jìn)針操作。高速Z軸掃描器的快速信息反饋和NX電子控制器的低噪聲信號(hào)處理使得無需用戶干預(yù)就能快速接觸樣品表面。

Park NX10技術(shù)參數(shù)

掃描器

Z掃描器

柔性引導(dǎo)高推動(dòng)力掃描器

掃描范圍: 15 µm (可選30 µm)
高度信號(hào)噪聲等級(jí): 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)

XY掃描器

閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器

掃描范圍: 50 µm × 50 µm
(可選10 µm × 10 µm 或 100 µm × 100 µm)

驅(qū)動(dòng)臺(tái)

Z位移臺(tái)行程范圍 : 25 mm (Motorized)
聚焦樣品臺(tái)行程范圍 : 15 mm (Motorized)
XY位移臺(tái)行程范圍 : 20 mm x 20 mm (Motorized)

樣品架

樣品尺寸: 開放空間 up to 100 mm x 100 mm，厚度 up to 20 mm
樣品重量 : < 500 g

光學(xué)

10倍 (0.23 N.A.)超長工作距離鏡頭 (1µm分辨率)
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 480 × 360 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 100萬像素, 500萬像素 (可選)

軟件

SmartScan™

AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的專用軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡易成像
手動(dòng)模式的高級(jí)使用和更精密的掃描控制

XEI

AFM數(shù)據(jù)分析軟件

電子

集成功能

4通道數(shù)字鎖相放大器
彈性系數(shù)校準(zhǔn)(熱方法，可選)
數(shù)據(jù)Q控制

連接外部信號(hào)

20個(gè)嵌入式輸入/輸出端口
5個(gè)TTL輸出 : EOF, EOL, EOP,調(diào)制和交流偏壓